SM230_自动光学薄膜厚度扫描测绘仪

综合概述

SM230是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自动薄膜厚度测绘仪。 它利用波长范围最宽为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，SM230就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度，以及其他光学常数如反射率、折射率和消光系数等，其厚度最大测绘范围可以达到5nm~250um。

SM230自动光学薄膜厚度测绘仪由测绘主机、测绘平台、Y型光纤及上位机软件搭建而成，核心器件采用高分辨率、高灵敏度光谱仪和高精度的旋转平台，结合奥谱天成独有的算法技术，为用户提供的全新一代领先的自动光学薄膜厚度测绘仪。

产品特征

l 非接触式、非破坏性的测试系统；

l 超长寿命光源，更高的发光效率；

l 高分辨率、高灵敏度光谱仪，测绘结果更准确可靠；

l 软件界面直观，操作方便省时；

l 测绘速度快，支持多点测绘点位地图绘制；

l 支持绘制样品2D/3D厚度分布图；

l 高精度、长寿命的3轴旋转平台；

l 历史数据存储，帮助用户更好掌握结果；

l 桌面式分布设计，适用场景丰富；

l 维护成本低，保养方便；

应用领域

基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测绘，这几乎包含了所有的电介质和半导体材料，包括：

氧化硅、氮化层、类钻薄膜、多晶硅、光刻胶、高分子、聚亚酰胺、非晶硅等。

l 半导体镀膜：光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体上硅、晶片背面研磨;

l 液晶显示：间隙厚度、聚酰亚胺、ITO透明导电膜;

l 光学镀膜：硬涂层、抗反射层；

l 微电子系统：光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板；

l 生物医学：医疗设备、Parylene