光纤光谱仪基于白光干涉测量原理可以测量薄膜厚度

　　光纤光谱仪是光学仪器的主要构成部分。由于其检测精度高、速度快等优点，已成为光谱测量学中使用的重要测量仪器被广泛应用于农业、生物、化学、地质、食品安全、色度计算、环境检测、医药卫生、LED检测、半导体工业、石油化工等领域。

　　微型光纤光谱仪结构紧凑，包括入射狭缝、准直物镜、光栅、成像反射镜、滤色镜片和阵列探测器，还包括数据采集系统和数据处理系统。光信号经入射狭缝投射到准直物镜上，将发散光变成准平行光反射到光栅上，色散后经成像反射镜将光谱呈在阵列接收的接收面上，形成光谱谱面。光谱谱面既是单色光的序列排布(有二级衍射光谱影响)，让整个光谱中任一个微小谱带照射到相对应探测器的像元上，光纤光谱仪测试液体吸光度，在此将光信号转换成电子信号后，经模拟数字转换，A/D放大，最后由电器系统控制终端显示输出。从而完成各种光谱信号测量分析。

　　那么光纤光谱仪可以测量薄膜厚度吗?非常确定的说:可以测量

　　光纤光谱仪基本配置包括包括一个光栅，一个狭缝，和一个探测器。 光谱仪的性能取决于这些部件的精确组合与校准。奥谱天成科技的小型光纤光谱仪可以测量薄膜厚度、以及透过率检测，荧光的检测、镜片检测。 将被测光耦合到光谱仪中进行光谱分析。由于光纤的方便性，用户可以非常灵活的搭建光谱采集系统。光纤光谱仪的优势在于测量系统的模块化和灵活性。奥谱天成科技的小型光纤光谱仪的测量速度非常快，可以用于在线分析。目前，随着光谱行业的快速发展，光纤光谱仪在国内越来越得到认可，其产品性能和质量方面跟国外产品相媲美，国产光纤光谱仪正逐渐替代国外产品。

　　光学的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理，可以测量的膜层厚度10nm-50μm，分辨率为1nm。薄膜测量在半导体晶片生长过程中经常被用到，因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控;其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。

　　随着薄膜技术的发展,对薄膜厚度的测量精确度要求越来越高,用光学测量技术测量薄膜的厚度逐渐发展起来。使用白光作为光源,用光纤接收光谱信号,用相应的设备进行光谱分析,从而测量薄膜厚度的方法,是近年来发展起来的新的测厚技术。这种方法不仅可以在线监控薄膜的厚度,而且可以对已生成薄膜的厚度进行精确测量。