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公司新闻

应用案例 | 精准调控ALD工艺,ATP5020P护航钙钛矿量子点产业化

发布时间:2025/10/31 点击量:

钙钛矿量子点(CsPbBr₃)因其色纯度高、发光效率好,是下一代显示技术的核心材料。然而,其本征稳定性差,易受水、氧、光、热的影响,严重制约了商业化应用。

 

原子层沉积(ALD)技术

 
 

应用案例 | 精准调控ALD工艺,ATP5020P护航钙钛矿量子点产业化

 

原子层沉积(ALD)技术通过表面自限制反应实现纳米级薄膜沉积,为钙钛矿量子点提供致密的无机保护层,是提升其环境稳定性的有效方案。

在产业化应用中,ALD技术可显著增强量子点色转换层在显示器件中的长期工作寿命,为Micro-LED、QLED等新一代显示技术的量产提供工艺基础。

 

应用案例 | 精准调控ALD工艺,ATP5020P护航钙钛矿量子点产业化

 

沉积温度是影响ALD封装效果的关键参数。

温度过低会导致前驱体反应不充分,薄膜致密性不足;温度过高则会引起量子点晶格结构损伤,造成不可逆的性能衰减。因此,确定最佳沉积温度窗口对实现量子点器件的产业化至关重要。02

 

研究案例

 

研究人员通过系统实验证实,75℃是实现CsPbBr₃量子点ALD封装的最佳工艺温度。在此条件下制备的样品在保持初始光电性能的同时,展现出优异的环境稳定性。

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本研究采用奥谱天成ATP5020P光纤光谱仪进行PL光谱采集以及光学性能表征,为工艺优化提供关键数据支持:

 

 

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ATP5020P光谱仪的关键技术支撑

 

精确的光学性能定量

 
 

ATP5020P具备高灵敏度和光谱分辨率,可准确测量量子点的光致发光谱和吸收谱,为评估不同ALD工艺对量子点本征光学性能的影响提供可靠依据。

 

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稳定性测试的实时监测

 
 

在热循环、蓝光辐照、高温高湿等加速老化实验中,仪器的高信噪比和测量稳定性确保了长期测试数据的准确性,为评估封装效果提供连续、可靠的性能衰减曲线。

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原位测试的系统集成

 
 

通过光纤连接方式与温控平台实现联用,支持变温条件下的原位PL光谱采集,为研究温度依赖的载流子复合机制提供技术保障。

 

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产业化验证与应用前景

 
 
 

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基于75℃ ALD工艺封装的CsPbBr₃量子点已成功应用于白光LED器件。测试结果显示,器件色域覆盖达到94.00% NTSC和86.20% Rec.2020标准,且在600小时持续工作后仍保持85%以上的初始色域值,显著优于未封装器件。

 

应用案例 | 精准调控ALD工艺,ATP5020P护航钙钛矿量子点产业化

该成果证明了ALD封装技术在量子点显示领域的产业化可行性,为Micro-LED全彩显示提供了可靠的色彩转换方案,同时在高色域照明、可见光通信等领域展现出应用潜力。

 
 
 
 
 
 
 

参考文献

  1. Zijun Yan, Fangshun Ye, Liyue Xu, Xiao Yang, Shouqiang Lai, Shuli Wang, Yue Lin, Guolong Chen, Yijun Lu, Hao-Chung Kuo, Zhong Chen, Tingzhu Wu, Optimum temperature of atomic   layer deposition of alumina on CsPbBr3 quantum-dot for optical performance and environmental stability, Journal of Luminescence, Volume 261, 2023, 119905, ISSN 0022-2313,   https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2023.119905.

 

结论

 
 

应用案例 | 精准调控ALD工艺,ATP5020P护航钙钛矿量子点产业化

 

奥谱天成ATP5020P光纤光谱仪凭借其精确的光学测量能力和系统集成灵活性,在钙钛矿量子点ALD封装工艺开发中能够发挥重要作用,为工艺优化和产业化推进提供技术支撑。

随着ALD封装技术的不断完善,钙钛矿量子点有望在光电子领域实现更广泛的应用。

 

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